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摘要：本发明涉及一种多层铁钴镍复合永磁薄膜及其制备方法。该薄膜通过在基底材料上依次沉积镍层、铁钴镍合金层和镍覆盖层，采用原子层沉积（ALD）技术精确控制各层厚度，尤其在铁钴镍合金层中引入稀土元素镧，形成晶界扩散层。沉积及退火过程中施加外部磁场，提升薄膜的磁各向异性、矫顽力和饱和磁化强度。该方法制备的薄膜具有优异的磁性能，适用于高频磁性元件和磁性存储器的应用。
主权项：1.一种多层铁钴镍复合永磁薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下技术步骤：选择基底材料；使用磁控溅射技术在基底材料上沉积一层Ni层；继续采用ALD技术，在Ni层上分步沉积Fe、Co、Ni以及稀土元素原子层，形成复合稀土元素的FeCoNi合金层；最后使用磁控溅射技术在FeCoNi合金层上沉积一层Ni层；将沉积完成的薄膜在Ar2气氛中进行退火处理，温度控制在400℃至500℃之间，退火时间为1至2小时；在FeCoNi合金层的沉积过程中且退火过程中，施加一个外部磁场，强度控制在100mT至300mT之间。
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百度查询： 江苏奕腾智能科技有限公司 一种多层铁钴镍复合永磁薄膜及其制造方法
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