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一种薄膜缺陷检测装置 

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摘要:本发明涉及薄膜检测技术领域,尤其涉及一种薄膜缺陷检测装置。该包括设置在暗室内的看膜腔体,看膜腔体包括由挡板围成的主腔体和设置在主腔体内的中间平台层,中间平台层开设通光孔,上腔体的顶部安装氙气灯,以将光线照射在通光孔处的待检测薄膜,下腔体的底部铺设缺陷成像幕布,以接收来自通光孔处薄膜留下的阴影;灯光穿透薄膜,阴影投射在下腔体底部铺设的缺陷成像幕布上,由于选择光线穿透力更强的氙气灯,可以在缺陷成像幕布看到薄膜轻微的变形类缺陷,上述方案改善了现有观察薄膜缺陷方式的不足,可看到薄膜细小轻微的变形类缺陷。

主权项:1.一种薄膜缺陷检测装置,其特征在于,包括设置在暗室内的看膜腔体,看膜腔体包括由挡板围成的主腔体和设置在主腔体内的中间平台层,挡板为光泽度低的黑色板材,主腔体被所述中间平台层分割为上腔体和下腔体,中间平台层开设通光孔,中间平台层用于铺设待检测薄膜,上腔体的顶部安装氙气灯,以将光线照射在通光孔处的待检测薄膜,下腔体的底部铺设缺陷成像幕布,以接收来自通光孔处薄膜留下的阴影。

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