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摘要：本实用新型提供了一种储液罐及一种薄膜沉积设备。所述储液罐包括罐体、加热模块、冷却模块及集成传感器。所述罐体用于容纳液态化学源。所述加热模块，设于所述罐体的第一位置，用于通过所述罐体来加热所述液态化学源。所述冷却模块设于所述罐体的第二位置，用于通过所述罐体来冷却所述液态化学源。所述集成传感器漂浮于所述储液罐中的液态化学源表面，用于分别采集所述液态化学源的液位信号及温度信号，并将所述温度信号分别传输到所述加热模块及所述冷却模块，以供其相互配合地将所述液态化学源稳定在其目标温度。本实用新型可以缩短对储存罐内液态化学源温度控制的稳定时间，以提升薄膜沉积工艺效率。
主权项：1.一种储液罐，其特征在于，包括：罐体，用于容纳液态化学源；加热模块，设于所述罐体的第一位置，用于通过所述罐体来加热所述液态化学源；冷却模块，设于所述罐体的第二位置，用于通过所述罐体来冷却所述液态化学源；以及集成传感器，漂浮于所述储液罐中的液态化学源表面，用于分别采集所述液态化学源的液位信号及温度信号，并将所述温度信号分别传输到所述加热模块及所述冷却模块，以供其相互配合地将所述液态化学源稳定在其目标温度。
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百度查询： 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 储液罐及薄膜沉积设备
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