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摘要：本发明属于NMP技术领域，具体涉及一种超净高纯NMP生产系统，包括以下生产工艺：S1：在处理单元一脱除NMP中的磁性颗粒物；S2：在处理单元二过滤NMP中携带的非磁异颗粒物及残留的磁性颗粒物；S3：在处理单元三脱除NMP中的残余金属离子及极细小颗粒物；S4：在处理单元四脱除NMP中金属离子杂质，本发明采用超净高纯NMP的生产工艺并配套建设洁净厂房、自动罐装产线等。将常规的电子级NMP的金属离子、磁异非磁异颗粒物等脱除干净，使之达到超净高纯试剂中SEMI‑G3级别，满足半导体、集成电路及新型显示领域对超净高纯NMP的使用需求。
主权项：1.一种超净高纯NMP生产系统，其特征在于，包括以下生产工艺：S1：在处理单元一脱除NMP中的磁性颗粒物；S2：在处理单元二过滤NMP中携带的非磁异颗粒物及残留的磁性颗粒物；S3：在处理单元三脱除NMP中的残余金属离子及极细小颗粒物；S4：在处理单元四脱除NMP中金属离子杂质。
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百度查询： 重庆中润新材料股份有限公司 一种超净高纯NMP生产系统
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