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摘要：本发明属于半导体技术领域，更具体地说，是涉及一种遮挡盘检测装置及物理气相沉积设备。其中，遮挡盘检测装置包括：检测组件、第一驱动机构和控制器，检测组件包括第一传感器组，第一传感器组用于检测存放腔室内的遮挡盘，第一驱动机构与第一传感器组相连，第一驱动机构用于驱动第一传感器组移动，以使第一传感器组达到第一检测位置，控制器用于控制第一传感器组检测以及第一驱动机构运动。本发明通过第一驱动机构与第一传感器组相连，使控制器控制第一驱动机构驱动第一传感器组移动，从而实现自动调整检测位置；通过控制器控制第一驱动机构驱动第一传感器组移动，控制精度高，可避免造成误差引起误报警，节省了处理误报警的时间。
主权项：1.一种遮挡盘检测装置，其特征在于，包括：检测组件，所述检测组件包括第一传感器组，所述第一传感器组用于检测存放腔室内的遮挡盘；第一驱动机构，所述第一驱动机构与所述第一传感器组相连，所述第一驱动机构用于驱动所述第一传感器组移动，以使所述第一传感器组达到第一检测位置；控制器，所述控制器用于控制所述第一传感器组检测以及所述第一驱动机构运动。
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百度查询： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 一种遮挡盘检测装置及物理气相沉积设备
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