买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

摘要：本发明涉及微波等离子化学气相沉积技术领域，且公开了微波等离子化学气相沉积设备，包括反应部件，所述反应部件的一侧安装有波导部件，所述反应部件包括反应机壳、反应腔机构和磁力旋转调控机构，所述反应机壳与波导部件为固定连接，所述反应机壳的内侧设置有反应腔机构，所述反应腔机构的外侧设置有磁力旋转调控机构，所述磁力旋转调控机构包括电磁铁、调控组件、旋转组件和升降组件，所述反应腔机构的外侧设置有若干个电磁铁。本发明通过对反应腔内部的等离子体施加旋转式的磁场，在旋转式磁场的作用下，其内部的呈圆周等分的磁场进行圆周高速转动，进而在石英筒的内部形成类似圆柱体的等离子的分布状态，大幅提高了等离子体分布的均匀性。

主权项：1.微波等离子化学气相沉积设备，包括反应部件（1），所述反应部件（1）的一侧固定安装有波导部件（2），其特征在于：所述反应部件（1）包括反应机壳（11）、反应腔机构（12）和磁力旋转调控机构（13），所述反应机壳（11）与波导部件（2）为固定连接，所述反应机壳（11）的内侧设置有反应腔机构（12），所述反应腔机构（12）的外侧设置有磁力旋转调控机构（13），所述磁力旋转调控机构（13）包括电磁铁（131）、调控组件（132）、旋转组件（133）和升降组件（134），所述反应腔机构（12）的外侧设置有若干个电磁铁（131），所述电磁铁（131）呈环形分布在反应腔机构（12）的外侧，所述电磁铁（131）的下侧固定连接有调控组件（132），所述调控组件（132）的上侧固定连接有磁场屏蔽罩（5），所述电磁铁（131）位于磁场屏蔽罩（5）的内侧，所述调控组件（132）的下侧固定连接有旋转组件（133），所述旋转组件（133）的下侧固定连接有升降组件（134），所述反应腔机构（12）的内部设置有水冷组件（3），所述电磁铁（131）通电在旋转组件（133）的旋转配合作用下以及调控组件（132）调控作用下，在所述反应腔机构（12）外部施加旋转式可控磁场，用于提高所述反应腔机构（12）内部等离子体的均匀分布；所述波导部件（2）包括波导机壳（21）、微波源（22），所述波导机壳（21）与反应机壳（11）为固定连接，所述波导机壳（21）的内侧固定安装有微波源（22），所述微波源（22）用于供给反应腔机构（12）微波；所述反应腔机构（12）的结构包括天线固定座（121）、同轴波导（122）、石英筒定位环（123）、进气组件（124）、屏蔽铝筒（125）、石英筒（126）和放置台（127），所述微波源（22）靠近反应机壳（11）的一端固定连接有波导管，所述波导管的内侧固定安装有进气组件（124），所述波导管的上侧固定连接有天线固定座（121），所述波导管的下侧固定连接有同轴波导（122），所述天线固定座（121）、同轴波导（122）用于支撑固定波导管，所述同轴波导（122）的下侧固定连接有石英筒定位环（123），所述石英筒定位环（123）的下侧固定连接有屏蔽铝筒（125），所述屏蔽铝筒（125）上开设有分布均匀的通孔，所述屏蔽铝筒（125）的下侧固定连接有放置台（127），所述进气组件（124）与放置台（127）之间固定连接有石英筒（126）；所述进气组件（124）的结构包括微波天线（1241）、分散板（1242）和网格气道假体（1243），所述波导管的内侧固定连接有微波天线（1241），所述微波天线（1241）贯穿天线固定座（121）、同轴波导（122）及石英筒定位环（123），伸入到屏蔽铝筒（125）的内部，所述微波天线（1241）的下侧固定连接有分散板（1242），所述分散板（1242）的内部开设有蜂窝槽，所述蜂窝槽内侧设置有网格气道假体（1243），所述网格气道假体（1243）为气体流通通道。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市库比克科技有限公司 微波等离子化学气相沉积设备