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摘要：本发明公开了一种自适应的检验质量电荷控制方法与装置，水平方向的平行金属极板施加激励电压，测得位移信号并转为电压信号；根据电压信号计算控制力矩和反馈电压；将反馈电压施加到水平方向的平行金属极板，将检验质量控制在平衡位置；将电荷的估计值和检验质量的电荷做差，得到电荷误差值；随后计算得到电荷控制所需的前馈增益系数和反馈增益系数，再计算得到充放电速率；根据充放电速率，驱动紫外光照射模块，并将偏置电压施加到竖直方向两侧的平行金属极板上，将检验质量的电荷控制到0。本发明无需对检验质量的充放电物理特性进行测量即可实现检验质量的电荷自适应控制，可以提供良好的电荷闭环控制和鲁棒性。
主权项：1.一种自适应的检验质量电荷控制装置，其特征在于，所述装置包括平行金属极板、紫外光照射模块、位移传感器、运动控制模块、电荷测量模块、参考模型模块、自适应控制模块、静电执行机和电荷执行机；所述平行金属极板放置在检验质量的水平方向和竖直方向，与检验质量的表面平行，所有平行金属极板均与所述检验质量平行且距离相等，所述检验质量的水平方向两侧放置的平行金属极板数量相同，所述检验质量的垂直方向两侧放置的平行金属极板数量相同；水平方向的平行金属极板的输出端连接位移传感器；所述位移传感器的输出连接到运动控制模块；所述运动控制模块的输出端分别连接电荷测量模块和静电执行机；所述静电执行机的输出端与水平方向的平行金属极板相连；所述电荷测量模块的输出端连接自适应控制模块；所述参考模型模块的输出端连接自适应控制模块；所述自适应控制模块的输出端连接电荷执行机；所述电荷执行机连接紫外光照射模块。
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百度查询： 之江实验室 一种自适应的检验质量电荷控制方法与装置
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