龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明提供了一种冗余图形添加优化的算法，包括：查找出版图图形的正向异常的区域和负向异常的区域；对正向异常的区域的图形进行正向异常区域的冗余图形的优化和负向异常的区域的图形进行负向异常区域的冗余图形的优化；化学机械平坦化模型预测优化后的冗余图形的表面形貌；若预测的表面形貌达到设定值，则对版图中添加的冗余图形优化成功。本发明优化了已有冗余图形，并且将化学机械平坦化模型预测优化后的冗余图形的表面形貌作为添加的冗余图形的反馈手段，可以对不同产品间各层次的版图局部图形分布的均匀性进行优化，进而提高冗余图形添加的优化效果，提高工艺加工后各层次表面形貌的均匀性，降低后续制造工艺的工艺缺陷。
主权项：1.一种优化冗余图形的方法，用于对版图中添加的冗余图形进行优化，其特征在于，包括：查找出版图图形的正向异常的区域和负向异常的区域；对所述正向异常的区域的图形进行正向异常区域的冗余图形的优化和对负向异常的区域的图形进行负向异常区域的冗余图形的优化；化学机械平坦化模型预测优化后的冗余图形的表面形貌；若预测的表面形貌达到设定值，则对版图中添加的冗余图形优化成功；化学机械平坦化模型预测优化后的冗余图形的表面形貌的方法包括：S＝∑SnDn∑Dn＝1其中：S为预测的平均表面形貌；Sn为第n种研磨物质的预测表面形貌；Dn为第n种研磨物质所对应版图图形的图形密度；n为大于0的正整数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力微电子有限公司 优化冗余图形的方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号