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摘要：本申请提供了一种图像传感器测试结构及图像传感器结构，其中，图像传感器测试结构包括基板和遮挡层，基板，包括彼此相背的第一表面和第二表面、以及位于所述第一表面和所述第二表面之间的至少一个感光测试像素，所述第一表面作为入光面；遮挡层，覆盖在所述第一表面上，以避免外界的光信号进入所述感光测试像素，从而利用所述感光测试像素执行暗场测试。实现了在制成阶段测试图像传感器中白像素数量，以便提前对图像传感器的制成做出调整，缩短测试循环周期，提升效率，减低异常损失，提高图像传感器的性能和品质。
主权项：1.一种图像传感器测试结构，与所述图像传感器测试结构所属的图像传感器在同一工艺下形成，设置于图像传感器晶圆的切割道区，其特征在于，所述图像传感器测试结构包括：基板，包括彼此相背的第一表面和第二表面、以及位于所述第一表面和所述第二表面之间的至少一个感光测试像素，所述第一表面作为入光面；遮挡层，覆盖在所述第一表面上，以避免外界的光信号进入所述感光测试像素，从而利用所述感光测试像素执行暗场测试测试出所述图像传感器测试结构中的暗电流，从而得出所述图像传感器测试结构中的暗电子数量，进而得出所述图像传感器测试结构的白像素相关数据，根据所述图像传感器测试结构中的白像素数量体现出所述图像传感器测试结构所属的所述图像传感器的白像素的数量；第一底部介质层，设置在所述第一表面与所述遮挡层之间。
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百度查询： 武汉新芯集成电路股份有限公司 图像传感器测试结构及图像传感器结构
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