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摘要：本实用新型涉及流延机技术领域，提供一种氮化硅基板生产用流延机，解决现有流延机在氮化硅基板研发新配比中设备成本较高的问题，包括机架，所述机架上设有原料箱与干燥腔，所述原料箱靠近所述干燥腔一侧连接有出料头，所述出料头另一端设有统一出料厚度的刮刀，所述出料头设置刮刀一端设有用于调节出料宽度的宽度调节部件，所述机架上还设有干燥盘与滑轨，所述干燥盘设于所述出料头下方，所述干燥盘通过所述滑轨将出料送至所述干燥腔内干燥，通过出料头将浆料涂覆在干燥盘上，利用滑轨将干燥盘输送至干燥腔内进行干燥处理，与现有流延机采用的基带重复输送相比，构件数量、用料更少，设备成本更低。
主权项：1.一种氮化硅基板生产用流延机，包括机架，所述机架上设有原料箱与干燥腔，其特征在于：所述原料箱靠近所述干燥腔一侧连接有出料头，所述出料头另一端设有统一出料厚度的刮刀，所述出料头设置刮刀一端设有用于调节出料宽度的宽度调节部件，所述机架上还设有干燥盘与滑轨，所述干燥盘设于所述出料头下方，所述干燥盘通过所述滑轨将出料送至所述干燥腔内干燥。
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百度查询： 福建华清电子材料科技有限公司 一种氮化硅基板生产用流延机
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