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摘要：本实用新型公开了一种三头立式硅片脱胶插片清洗一体机，包括：脱胶机构、三头立式插片机、清洗机构、烘干机构、输出传送带、第二机械手机构、上料输送线、第三机械手机构、第四机械手机构、回流输送线、六轴机器人、清洗水重复利用机构。本实用新型的一体机极大的提高了硅片的生产效率。
主权项：1.一种三头立式硅片脱胶插片清洗一体机，其特征在于，包括：脱胶机构，用于使盛装于料筐内的硅片与料座脱离；三头立式插片机1，设置于所述脱胶机构的输出端，用于在三条作业线上分别将硅片分片并插入料篮13；清洗机构2，设置于所述三头立式插片机1的输出端，所述清洗机构2包括沿远离所述三头立式插片机1的方向并排设置的若干清洗槽；烘干机构3，设置于所述清洗机构2的输出端，所述烘干机构3包括沿远离所述清洗机构2的方向并排设置的若干烘干箱31；输出传送带4，设置于所述烘干机构3的输出端；第二机械手机构5，设置于所述脱胶机构至三头立式插片机1输入端的上方，用于转运盛装有硅片的料框；上料输送线6，设置于所述三头立式插片机1与清洗机构2之间的一侧；所述上料输送线6的起始端设置有翻转机构7，用于将竖直的料篮13翻转至水平并放置到所述上料输送线6上；第三机械手机构8，设置于所述上料输送线6输出端的上方与清洗机构2输入端的上方之间；第四机械手机构，设置于所述清洗机构2、烘干机构3和输出传送带4的上方；回流输送线9，设置于所述输出传送带4输出端的一侧至三头立式插片机1输出端的一侧，其末端设置有所述翻转机构7，用于将水平的料篮13翻转至竖直；六轴机器人10，设置于所述回流输送线9的起始端，用于将空料篮13放置到所述回流输送线9上；清洗水重复利用机构，与所述清洗机构2相连，用于将后序的清洗水重复利用到前序中。
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