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摘要:本发明涉及晶棒加工领域,尤其涉及一种截开装置及使用该装置的截开方法,包括机架、截开组件和载料基台,所述机架的长度方向的两侧设有载料基台,两个所述载料基台之间设有切割间隙,两个所述载料基台可相向或相背移动以调整切割间隙大小;两个所述载料基台组合形成用于放置晶棒的放置平台;所述截开组件沿机架长度方向移动设置并通过切割间隙;包括相关截开方法;上述装置和方法能够实现在机械抓手抓取及切割线锯退线过程中避免对晶棒的磕边、划伤。
主权项:1.一种截开装置,其特征在于,包括机架、截开组件和载料基台,所述机架的长度方向的两侧设有载料基台,两个所述载料基台之间设有切割间隙,两个所述载料基台可相向或相背移动以调整切割间隙大小;两个所述载料基台组合形成用于放置晶棒的放置平台;所述截开组件沿机架长度方向移动设置并通过切割间隙。
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百度查询: 福建天石源智能装备有限公司 一种截开装置及使用该装置的截开方法
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