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摘要：此处所述的实施例关于提供较短且对称的路径的接地路径系统，用于将射频RF能量传播至接地以减少寄生等离子体的产生。接地路径系统将腔室的处理容积分叉以形成内部容积，内部容积隔绝处理容积的外部容积。
主权项：1.一种适于处理半导体基板的腔室，包括：腔室主体；腔室盖，所述腔室盖耦接至所述腔室主体以限定处理容积；面板，所述面板耦接至所述腔室盖；底座，所述底座布置于所述处理容积中；抽吸板，所述抽吸板与所述底座同心地布置于所述处理容积中；接地杯体，所述接地杯体定位于所述处理容积中，所述接地杯体耦接至升降系统，所述升降系统在抬升处理位置及降低处理位置之间移动所述接地杯体；以及接地杯体导体，所述接地杯体导体耦接至所述接地杯体，所述接地杯体导体在所述接地杯体处于抬升处理位置时接触所述抽吸板。
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百度查询： 应用材料公司 用于提供较短且对称的接地路径的接地路径系统
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