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摘要：本申请公开了一种DSPEFEM自动抽检方法、系统、介质及产品，涉及半导体制造与封装测试领域，该系统包括：DSPEFEM控制系统、第一机器人、第二机器人和检测设备；DSPEFEM控制系统控制第一机器人和第二机器人将I个待抽检的晶圆逐个从第一下料缓存单元移载至中转单元，再由中转单元移载至抽检上料单元；在移载完成后，通过检测设备对抽检上料单元上的待抽检的晶圆进行检测，并在检测完成后，DSPEFEM控制系统控制第一机器人和第二机器人将I个检测完成的晶圆逐个从抽检上料单元移载至中转单元，再由中转单元移载至第二下料缓存单元。本申请避免了人工操作造成的晶圆损坏，还提高了效率，节省了人工成本。
主权项：1.一种DSPEFEM自动抽检系统，其特征在于，所述DSPEFEM自动抽检系统包括：DSPEFEM控制系统、第一机器人、第二机器人和检测设备；所述DSPEFEM控制系统分别与所述第一机器人和第二机器人连接；所述第一机器人和所述第二机器人设置在DSPEFEM设备内，所述DSPEFEM设备包括生产执行系统、第一下料缓存单元、中转单元、抽检上料单元、第二下料缓存单元；所述DSPEFEM控制系统还分别与所述生产执行系统和检测设备连接，用于根据生产执行系统发送的抽检开始指令控制第一机器人和第二机器人将I个待抽检的晶圆逐个从第一下料缓存单元移载至中转单元，再由中转单元移载至抽检上料单元，并在移载完成后生成晶圆取出信号发送至检测设备，其中，I为待抽检的晶圆的数量；所述检测设备，用于根据接收到的晶圆取出信号对抽检上料单元上待抽检的晶圆进行检测，并在检测完成后生成检测完成信号；所述抽检上料单元，用于放置待抽检的晶圆和检测完成的晶圆；所述第二下料缓存单元，用于放置从抽检上料单元返回的检测完成的晶圆；所述DSPEFEM控制系统，还用于根据接收到的检测完成信号控制第一机器人和第二机器人将I个检测完成的晶圆逐个从抽检上料单元移载至中转单元，再由中转单元移载至第二下料缓存单元。
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百度查询： 北京日扬弘创智能装备有限公司 一种DSP EFEM自动抽检方法、系统、介质及产品
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