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摘要：本发明的一种光刻版保护膜贴膜治具，包括底托和盖板；底托的顶面设有保护膜槽，环保护膜槽，底托的顶面设有若干用于限位光刻版的限位柱和若干弹簧柱，弹簧柱用于顶撑光刻版；盖板的底面设有若干对应弹簧柱的受力柱。通过保护膜槽限定待贴的保护膜，通过限位柱定位待贴膜的光刻版，利用弹簧柱弹性的压合光刻版，使光刻版与保护膜有效贴合并便于光刻板的取出。其提高了光刻版的贴膜效率和准确率，提高光刻版的使用率，解决产线因光刻版外送贴膜造成的产能和时间损失，满足产线产能要求，具有很强的实用性和广泛地适用性。
主权项：1.一种光刻版保护膜贴膜治具，其特征在于，包括底托和盖板；所述底托的顶面设有保护膜槽，环保护膜槽，底托的顶面设有若干用于限位光刻版的限位柱；环保护膜槽，底托的顶面设有若干弹簧柱，所述弹簧柱用于顶撑光刻版；所述盖板的底面设有若干对应弹簧柱的受力柱。
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