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掩膜版转移装置及掩膜版转移方法 

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摘要:本发明涉及电子产品生产技术领域,具体公开了一种掩膜版转移装置及掩膜版转移方法,其中,开盖机构设于底座且用于将掩膜版储存盒的盖体打开;转移机构设于底座,且转移机构的输出端具有用于从掩膜版储存盒中抓取掩膜版的抓取组件,抓取组件中,两个夹持件均沿宽度方向能移动地约束于抓取座,且能相互靠近或远离;两个转动件沿宽度方向间隔设置,且均被布置成能以自身轴线为轴转动;夹持传动件呈带状,且绕设于两个转动件之间,并于两个转动件之间形成两个均沿宽度方向延伸且相互平行的传动部,两个传动部分别与对应的夹持件传动连接;夹持驱动器设于抓取座,且输出端与夹持件或其中一个转动件驱动连接。上述设置降低了人工的劳动强度。

主权项:1.掩膜版转移装置,能打开掩膜版储存盒1000,并将其中的掩膜版2000取出,其特征在于,包括:底座100;开盖机构200,设于所述底座100且用于将所述掩膜版储存盒1000的盖体1200打开;转移机构300,设于所述底座100,且所述转移机构300的输出端具有抓取组件310,所述抓取组件310用于从所述掩膜版储存盒1000的盒体1100中抓取掩膜版2000,所述抓取组件310包括:抓取座311;两个夹持件312,均沿宽度方向能移动地约束于所述抓取座311,且能相互靠近或远离;两个转动件,沿宽度方向间隔设置,且均被布置成能以自身轴线为轴转动;夹持传动件314,呈带状,且绕设于两个转动件之间,并于两个转动件之间形成两个均沿宽度方向延伸且相互平行的传动部,两个所述传动部分别与对应的夹持件312传动连接;夹持驱动器315,设于所述抓取座311,且输出端与所述夹持件312或其中一个转动件驱动连接。

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