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申请/专利权人：应用材料公司
申请日：2023-04-05
公开（公告）日：2024-12-17
公开（公告）号：CN119156578A
专利技术分类：..全面工厂控制，即集中控制许多机器，例如直接或分布数字控制（DNC）、柔性制造系统（FMS）、集成制造系统（IMS）、计算机集成制造（CIM）[2006.01]
专利摘要：提供了一种用于为基板制造系统训练代理器的方法。所述方法包括：初始化基板制造系统的预测子系统的代理器，以选择一个动作在与所述基板制造系统相关联的仿真环境中执行；以及在所述仿真环境中启动对所选的所述动作的仿真。响应于暂停所述仿真，所述方法进一步包括：基于与所述仿真相关联的环境状态，获得输出数据；以及基于所述输出数据，将所述代理器更新为配置为产生一个或多个调度决策，所述一个或多个调度决策表明在所述基板制造系统中启动对一个或多个基板的处理的时间。
专利权项：1.一种方法，包括：由处理器，初始化基板制造系统的预测子系统的代理器，以选择动作在与所述基板制造系统相关联的仿真环境中执行；在所述仿真环境中启动对所选的所述动作的仿真；响应于暂停所述仿真，基于与所述仿真相关联的环境状态，获得输出数据；以及基于所述输出数据，将所述代理器更新为配置为产生一个或多个调度决策，所述一个或多个调度决策表明在所述基板制造系统中启动对一个或多个基板的处理的时间。
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