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申请/专利权人：深圳市美格真空科技有限公司
申请日：2024-09-11
公开（公告）日：2024-12-24
公开（公告）号：CN118773550B
专利技术分类：..真空蒸发[2006.01]
专利摘要：本发明公开了一种沉积炉及其沉积方法，沉积炉包括壳体、隔板、反应仓以及沉积仓。壳体限定出容腔。隔板设于容腔内并将容腔分隔为第一腔体与第二腔体。反应仓位于第一腔体，反应仓用以产生沉积气体。沉积仓位于第二腔体，沉积仓与第二腔体以及反应仓导通。其中，第一腔体的气压配置为能够高于第二腔体的气压，以迫使沉积气体由反应仓流向沉积仓。本方案能够有效避免沉积气体无法在正确位置沉积造成浪费的情形，提升气相沉积效果以及对沉积气体的收集率；并能够防止沉积气体泄露导致零部件被腐蚀的情形，提升反应仓的密封性，大幅降低零部件的更换频率，进而缩减生产成本并提升生产效率。
专利权项：1.沉积炉，其特征在于，包括：壳体，限定出容腔；隔板，设于所述容腔内并将所述容腔分隔为第一腔体与第二腔体，所述隔板连接于所述壳体的内周壁面并与所述壳体一体布置；反应仓，位于所述第一腔体，所述反应仓用以产生沉积气体；沉积仓，位于所述第二腔体，所述沉积仓与所述第二腔体以及所述反应仓导通；加压部，包括位于所述壳体外的第一管体，所述第一管体与所述第一腔体连通，所述第一管体适于向所述第一腔体输送惰性气体，以使所述第一腔体的气压高于所述第二腔体的气压，进而迫使所述沉积气体由所述反应仓流向所述沉积仓；第二管体，位于所述壳体内，所述第二管体的一端连通所述反应仓、另一端连通所述沉积仓；第一测量件，用以测量所述第一腔体的气压；第二测量件，用以测量所述第二腔体的气压。
百度查询： 深圳市美格真空科技有限公司 沉积炉及其沉积方法
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