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申请/专利权人:株式会社村田制作所
申请日:2019-06-11
公开(公告)日:2024-12-20
公开(公告)号:CN119171868A
专利技术分类:..具有单个谐振器(晶体调谐音叉入H03H9/21)[2006.01]
专利摘要:公开了一种声学谐振器装置和滤波器。一滤波器,包括一衬底,以及具有平行的正面和背面的压电板,背面附接到衬底上。在所述正面上形成导体图案,导体图案包括相应的多个谐振器的多个叉指式换能器IDT,其中多个IDT中的每一个IDT的交错的指状物设置在所述压电板的相应部分上,所述压电板悬挂在所述衬底中形成的一个或多个腔上。所述多个谐振器包括并联谐振器和串联谐振器。设置在所述并联谐振器的IDT的指状物之间的第一介电层的第一厚度大于设置在所述串联谐振器的IDT的指状物之间的第二介电层的第二厚度。
专利权项:1.一种滤波器装置,包括:衬底;压电层,直接或经由一个或多个中间层耦合到所述衬底;第一体声学谐振器装置的第一叉指式换能器IDT,在所述压电层上,并且在所述第一体声学谐振器装置的第一腔上方具有交错的指状物;第二体声学谐振器装置的第二IDT,在所述压电层上,并且在所述第二体声学谐振器装置的第二腔上方具有交错的指状物;第一介电层,具有第一厚度,设置在第一IDT的交错的指状物之间;以及第二介电层,具有第二厚度,设置在所述第二IDT的交错的指状物之间,其中,所述第一厚度大于所述第二厚度。
百度查询: 株式会社村田制作所 一种横向激励的薄膜体声波谐振器
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