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申请/专利权人：浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
申请日：2024-12-02
公开（公告）日：2024-12-31
公开（公告）号：CN119224000A
专利技术分类：...特征在于待测物品的材料或形状（G01N21/89至G01N21/91，G01N21/94优先）[2006.01]
专利摘要：本发明涉及一种图像采集装置、硅片检测设备和硅片检测方法。图像采集装置包括：机架，硅片输送线沿硅片组的运输方向贯穿机架，硅片组包括沿竖直方向堆叠放置的若干硅片；至少一个线扫检测单元，安装于机架，线扫检测单元的镜头拍摄方向平行于硅片组的运输平面，线扫检测单元用于沿竖直方向采集硅片组的边沿图像。应用该图像采集装置能在保证图像像素精度的条件下提高图像采集、识别效率以及缺陷检测效率。
专利权项：1.一种图像采集装置，应用于硅片输送线，其特征在于，所述图像采集装置包括：机架，所述硅片输送线沿硅片组的运输方向贯穿所述机架，所述硅片组包括沿竖直方向堆叠放置的若干硅片；至少一个线扫检测单元，安装于所述机架，所述线扫检测单元的镜头拍摄方向平行于所述硅片组的运输平面，所述线扫检测单元用于沿竖直方向移动以采集所述硅片组的边沿图像。
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皖公网安备 34010402703815号