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申请/专利权人：微制造股份有限公司

申请日：2023-04-05

公开（公告）日：2024-12-31

公开（公告）号：CN119234156A

专利技术分类：...测量探针[2006.01]

专利摘要：一种形成探针（3500）的方法包括：提供第一探针模块（3500‑U）和第二探针模块（3500‑L），所述第一和第二探针模块具有相应的柔性元件（3521‑U，3521‑L），所述相应的柔性元件功能性地连结相应的探针臂，所述相应的探针臂直接地或间接地保持第一末端（3531‑U）和第二末端（3531‑L），以及通过在使得其相应的末端彼此远离指向的情况下使所述第一和第二探针模块横向地和纵向地对准而形成所述探针。

专利权项：1.一种形成探针（3500，3600，3700，3800，3900，4000）的方法，包括：（a）提供第一探针模块（3500-U，3600-U，3700-U，3800-U，3900-U，4000-U），所述第一探针模块包括至少一个支架（3511-U，3611-U，3711，3811-U，3911-U，4011-U）和至少一个第一柔性元件（3521-U，3621-U，3721，3821-U，3921-U，4021-U），所述至少一个第一柔性元件包括在基本上垂直于平面构造的方向上提供柔性的弹簧元件，其中所述第一柔性元件（3521-U，3621-U，3721，3821-U，3921-U，4021-U）的第一部分功能性地连结所述至少一个支架（3511-U，3611-U，3711，3811-U，3911-U，4011-U），并且所述第一柔性元件的第二部分功能性地连结能够相对于所述至少一个支架弹性地移动的第一探针臂，其中所述第一探针臂直接地或间接地保持第一末端（3531-U，3631-U，3731，3831-U，3931-U，4031-U），当所述第一柔性元件（3521-U，3621-U，3721，3821-U，3921-U，4021-U）未被偏压时，所述第一末端纵向地延伸超过所述至少一个支架（3511-U，3611-U，3711，3811-U，3911-U，4011-U）；以及（b）提供第二探针模块（3500-L，3600-L，3700-L，3800-L，3900-L，4000-L），所述第二探针模块包括至少一个支架（3511-L，3611-L，3711，3811-L，3911-L，4011-L）和至少一个第二柔性元件（3521-L，3621-L，3721，3821-L，3921-L，4021-L），所述至少一个第二柔性元件包括在基本上垂直于所述平面构造的方向上提供柔性的弹簧元件，其中所述第二柔性元件（3521-L，3621-L，3721，3821-L，3921-L，4021-L）的第一部分功能性地连结所述至少一个支架（3511-L，3611-L，3711，3811-L，3911-L，4011-L），并且所述第二柔性元件的第二部分功能性地连结能够相对于所述至少一个支架（3511-L，3611-L，3711，3811-L，3911-L，4011-L）弹性地移动的第二探针臂，其中所述第二探针臂直接地或间接地保持第二末端（3531-L，3631-L，3731，3831-L，3931-L，4031-L），当所述第二柔性元件（3521-L，3621-L，3721，3821-L，3921-L，4021-L）未被偏压时，所述第二末端纵向地延伸超过所述至少一个支架（3511-L，3611-L，3711，3811-L，3911-L，4011-L）；以及（c）横向地且纵向地对准第一探针模块和第二探针模块（3500-U，3600-U，3700-U，3800-U，3900-U，4000-U；3500-L，3600-L，3700-L，3800-L，3900-L，4000-L），其中它们的相应的第一末端和第二末端（3531-U，3631-U，3731，3831-U，3931-U，4031-U；3531-L，3631-L，3731，3831-L，3931-L，4031-L）在基本上相反的纵向方向上彼此远离指向，以使得所述第一探针模块（3500-U，3600-U，3700-U，3800-U，3900-U，4000-U）的所述至少一个支架（3511-U，3611-U，3711，3811-U，3911-U，4011-U）以及所述第二探针模块（3500-L，3600-L，3700-L，3800-L，3900-L，4000-L）的所述至少一个支架（3511-L，3611-L，3711，3811-L，3911-L，4011-L）直接地或间接地连结至彼此，以便使所述至少一个第一柔性元件（3521-U，3621-U，3721，3821-U，3921-U，4021-U）与所述至少一个第二柔性元件（3521-L，3621-L，3721，3821-L，3921-L，4021-L）间隔开。

百度查询： 微制造股份有限公司 用于电子部件接触的具有平面非偏压弹簧元件的探针、制造这样的探针的方法、以及使用这样的探针的方法