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申请/专利权人：河北美泰电子科技有限公司
申请日：2024-12-25
公开（公告）日：2025-01-24
公开（公告）号：CN119354166A
专利技术分类：
专利摘要：本发明提供了一种硅微陀螺仪，属于惯性角速度检测技术领域，包括基板、质量单元、驱动单元和检测单元；质量单元包括两组质量模组，两组质量模组之间通过第一弹性耦合梁连接，第一弹性模组将质量模组连接于基板；驱动单元包括围设于质量单元外周的多组驱动模组，第二弹性模组将驱动模组固定于基板，驱动模组用于接收外部输入的电信号，驱动模组沿X轴运动，并驱动质量模组沿Y轴做扭转简谐运动，当外界有绕X轴的惯性角速率输入，质量模组在将以Y轴为转轴做旋转运动；检测单元设于质量单元和基板之间。本发明提供的硅微陀螺仪，旨在解决现有技术中硅微陀螺仪的共模干扰信号抑制能力较差，检测灵敏度和信噪比较低，导致整体检测精度较低的问题。
专利权项：1.硅微陀螺仪，其特征在于，包括：基板；质量单元，包括沿X轴依次分布的两组质量模组，两组所述质量模组之间通过第一弹性耦合梁连接，所述质量模组的中心区具有中空的安装区，所述安装区内设有第一弹性模组，所述第一弹性模组将所述质量模组连接于所述基板；驱动单元，包括围设于所述质量单元外周的多组驱动模组，相邻的两组所述驱动模组之间通过的第二弹性模组连接，所述第二弹性模组将所述驱动模组固定于所述基板，所述驱动模组用于接收外部输入的电信号，在静电力的作用下所述驱动模组沿X轴运动，并驱动所述质量模组沿Y轴做扭转简谐运动，两组所述质量模组的扭转方向相反，所述质量模组在沿Y轴做扭转简谐运动时，当外界有绕X轴的惯性角速率输入，所述质量模组在哥氏力的作用下将以Y轴为转轴做旋转运动；以及检测单元，设于所述质量单元和所述基板之间，并连接于所述基板，所述检测单元用于检测所述质量模组在X轴的角速率，并转换成电信号输出。
百度查询： 河北美泰电子科技有限公司 硅微陀螺仪
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