昆山晟成光电科技有限公司方致远获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山晟成光电科技有限公司申请的专利一种蒸镀设备用静密封磁力推杆装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222665975U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420358358.0，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型一种蒸镀设备用静密封磁力推杆装置是由方致远;胡宇航;王凡;乔梁;李伟;杨星;周文彬设计研发完成，并于2024-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种蒸镀设备用静密封磁力推杆装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于真空镀膜技术领域，涉及一种蒸镀设备用静密封磁力推杆装置，包括支架、透磁套筒、推杆单元和直线驱动单元；支架包括基座、第一端板和第二端板；透磁套筒固定于第一端板和第二端板之间，透磁套筒一端设有法兰面，法兰面与第一端板之间夹持有密封圈；直线驱动单元设于基座上，包括外圈磁组以及直线驱动组件；推杆单元穿过透磁套筒的内部，包括推杆，推杆的头部穿出第一端板，尾部设有隔着透磁套筒与外圈磁组内外相吸的内圈磁组。本装置通过直线驱动组件先带动外圈磁组，然后外圈磁组的磁力透过透磁套筒带动内圈磁组运动，从而实现推杆的直线运动，密封位置在密封圈，属于静密封方式，相比应用磁流体轴承成本较低，真空的稳定性更高。
本实用新型一种蒸镀设备用静密封磁力推杆装置在权利要求书中公布了：1.一种蒸镀设备用静密封磁力推杆装置，其特征在于：包括支架、透磁套筒、推杆单元和直线驱动单元；所述支架包括基座以及平行固定于所述基座两侧的第一端板和第二端板；所述透磁套筒固定于所述第一端板和所述第二端板之间，所述透磁套筒在靠近所述第一端板的一端设有法兰面，另一端封闭，所述法兰面与所述第一端板之间夹持有密封圈；所述直线驱动单元设于所述基座上，包括套在所述透磁套筒外的外圈磁组以及驱动所述外圈磁组沿所述透磁套筒轴线运动的直线驱动组件；所述推杆单元穿过所述透磁套筒的内部，包括同轴设置于所述透磁套筒内的推杆，所述推杆的头部穿出所述第一端板并固定一托板，尾部设有隔着透磁套筒与所述外圈磁组内外相吸的内圈磁组。
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