恭喜宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网恭喜宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种氧化硅蒸发料的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117105649B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311089964.3,技术领域涉及:C04B35/14;该发明授权一种氧化硅蒸发料的制备方法是由姚力军;潘杰;杨慧珍;廖培君;周友平设计研发完成,并于2023-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化硅蒸发料的制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种氧化硅蒸发料的制备方法,所述制备方法包括如下步骤:将氧化硅粉与粘结剂混合后进行球磨,得到混合粉末;将所得混合粉末进行冷等静压,得到坯料;将所得坯料粉碎后进行烧结,得到烧结料;将所得烧结料进行分级过筛,得到氧化硅蒸发料。本发明提供的制备方法制备的氧化硅蒸发料纯度高,致密度高,尤其可以达到99.0%以上,粒度均匀,表面无渣,应用于蒸镀时,性能稳定,蒸镀效果好。
本发明授权一种氧化硅蒸发料的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种氧化硅蒸发料的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤:1将氧化硅粉与粘结剂混合后进行球磨,得到混合粉末;2将步骤1所得混合粉末进行冷等静压,得到坯料;所述冷等静压的压力为180-280MPa,所述冷等静压的时间为2-8min;3将步骤2所得坯料粉碎后进行烧结,得到烧结料;所述粉碎的终点为,颗粒的粒径范围为6-10mm;所述烧结的装料厚度<15mm;所述烧结由依次进行的第一烧结、第二烧结和第三烧结组成;所述烧结的升温速率为1-8℃min;所述第一烧结的温度为200-400℃,所述第一烧结的时间为0.5-2h,所述第二烧结的温度为1000-1300℃,所述第二烧结的时间为0.5-2h,所述第三烧结的温度为1400-1650℃,所述第三烧结的时间为10-14h;4将步骤3所得烧结料进行分级过筛,得到粒径范围为2-5mm的氧化硅蒸发料。
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