恭喜江苏超芯星半导体有限公司袁振洲获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏超芯星半导体有限公司申请的专利一种多孔碳化钽陶瓷及其制备方法与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119100829B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411240211.2,技术领域涉及:C04B38/06;该发明授权一种多孔碳化钽陶瓷及其制备方法与应用是由袁振洲;刘欣宇设计研发完成,并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多孔碳化钽陶瓷及其制备方法与应用在说明书摘要公布了:本发明属于材料制备技术领域。本发明提供了一种多孔碳化钽陶瓷及其制备方法与应用,所述的制备方法包括将钽粉和或碳化钽粉与钽盐及有机配体源在液相体系混合后通过快速降温形成固体,将所得固体进行抽真空烧结后再进行碳化,得到多孔碳化钽陶瓷。所述制备方法中有机配体源提供配体,使配体与钽形成金属有机框架结构,调节孔隙和分布,并进一步在高温下的分解或挥发而实现造孔,最终制备得到的多孔碳化硅陶瓷中具有无序的微米级孔,应用于物理气相沉积法制备单晶碳化硅时,相比于传统的石墨材料,既能允许碳化硅产生的气态物质通过,又能耐高温,且强度高、不参与反应,不产生杂质进入晶体或形成碳包裹等缺陷,有效实现过滤作用。
本发明授权一种多孔碳化钽陶瓷及其制备方法与应用在权利要求书中公布了:1.一种多孔碳化钽陶瓷的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:(1)将钽粉和或碳化钽粉与钽盐及有机配体源进行混合,生成金属有机框架结构的反应物,得到悬浊液;(2)将所述悬浊液进行快速冷却,得到固体;(3)将所述固体进行抽真空烧结,得到多孔体;(4)将所述多孔体进行碳化,得到多孔碳化钽陶瓷。
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