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龙图腾网恭喜中北大学申请的专利一种单端自由的复合悬臂梁振动传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119880125B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510370013.6，技术领域涉及：G01H11/08；该发明授权一种单端自由的复合悬臂梁振动传感器及其制备方法是由耿文平;刘娟;丑修建;乔骁骏;李晓黄;王学文;贺浩然;张慧毅;李稼禾;汪子涵;杨凌霄设计研发完成，并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种单端自由的复合悬臂梁振动传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体器件技术领域，具体为一种单端自由的复合悬臂梁振动传感器及其制备方法。为了解决现有技术中的振动传感器存在灵敏度较低的问题，故提供了一种新的单端自由的复合悬臂梁振动传感器，包括边框、中心质量块、四个H型悬臂梁以及连接梁，每个H型悬臂梁均由两个主梁和副梁组成，每个H型悬臂梁的两个主梁均与中心质量块的对应边平行布置，每个连接梁的一端均与对应的H型悬臂梁的其中一个主梁的中部外侧垂直连接，四个连接梁的另一端分别与中心质量块的四个角部连接，四个H型悬臂梁的一端部分别与边框的四条边垂直连接，主梁上均布置有功能电极。本发明所述的振动传感器具有更高的灵敏度。

本发明授权一种单端自由的复合悬臂梁振动传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种单端自由的复合悬臂梁振动传感器，其特征在于，包括边框（1）、中心质量块（2）、四个悬臂梁组，边框（1）、中心质量块（2）、四个悬臂梁组均由硅基铌酸锂键合片经MEMS工艺形成，硅基铌酸锂键合片为Si基底正面生长一层SiO2膜后与LiNbO3晶片键合而成，四个悬臂梁组分别布置于中心质量块（2）的四周，每个悬臂梁组均包括H型悬臂梁以及连接梁（3），每个H型悬臂梁均由两个平行布置的主梁（4）和连接于两个主梁（4）之间的副梁（5）组成，每个H型悬臂梁的两个主梁（4）均与中心质量块（2）的对应边平行布置，每个连接梁（3）的一端均与对应的H型悬臂梁的其中一个主梁（4）的中部外侧垂直连接，四个连接梁（3）的另一端分别与中心质量块（2）的四个角部连接，四个H型悬臂梁的一端部分别与边框（1）的四条边垂直连接，每个主梁（4）上均布置有功能电极（6）。

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