ASML荷兰有限公司金文杰获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利照射源和相关的量测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114830026B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080072661.9，技术领域涉及：G02F1/35；该发明授权照射源和相关的量测设备是由金文杰;林楠;C·L·波特;P·W·斯莫雷恩伯格设计研发完成，并于2020-10-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本照射源和相关的量测设备在说明书摘要公布了：公开了一种照射源，其包括具有气体喷嘴的气体递送系统。气体喷嘴包括在气体喷嘴的出口平面中的开口。所述气体递送系统被配置成从所述开口提供气流以用于在相互作用区域处产生所发射的辐射。该照射源被配置成接收具有传播方向的泵浦辐射并且在气流中提供该泵浦辐射。气体喷嘴的几何形状适于成形气流的轮廓，使得气流的气体密度首先增加到最大值，随后沿着传播方向在截止区域急剧下降。
本发明授权照射源和相关的量测设备在权利要求书中公布了：1.一种照射源，包括： －包括气体喷嘴的气体递送系统，其中所述气体喷嘴包括在所述气体喷嘴的出口平面中的开口，以及 -可调节元件，所述可调节元件被完全定位在所述出口平面与具有传播方向的泵浦辐射之间， 其中所述气体递送系统被配置成提供来自所述开口的气流以用于在相互作用区域处产生所发射的辐射， 其中所述照射源被配置成接收所述泵浦辐射并且在所述气流中提供所述泵浦辐射， 其中所述可调节元件被配置用于改变所述气流的轮廓。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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