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申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日：2014-12-31
公开（公告）日：2016-07-27
公开（公告）号：CN105806186A
专利技术分类：.用于计量轮廓或曲率[2006.01]
专利摘要：本发明提供一种靶材检测平台、靶材检测装置以及靶材检测方法，所述靶材检测平台为长方体；在所述靶材检测平台的上表面设有两个沿长方形上表面的宽度方向，且相互平行的条形凹槽，用于在叉车将靶材放置在靶材检测平台上表面时，容纳叉车的叉条。因此，在采用本发明所提供的靶材检测平台做靶材弯曲度检测时，可以采用叉车将靶材放置到靶材检测平台上表面，较现有技术的人工搬运靶材更为方便安全。本发明还提供一种靶材检测的方法，包括：将靶材放置在所述靶材检测平台上表面；用塞尺插入靶材检测平台上表面与靶材之间的空隙中，测量靶材与靶材检测平台上表面间的空隙高度，所述方法成本低廉，并且量测时间较短，提高了生产效率。
专利权项：一种靶材检测平台，用于检测靶材的弯曲度，其特征在于，所述靶材检测平台为长方体；在所述靶材检测平台的上表面设有两个沿长方形上表面的宽度方向，且相互平行的条形凹槽，用于在叉车将靶材放置在靶材检测平台上表面时，容纳叉车的叉条。
百度查询： 宁波江丰电子材料股份有限公司 靶材检测平台、靶材检测装置以及靶材检测方法
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