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申请/专利权人:力成科技股份有限公司
申请日:2007-11-09
公开(公告)日:2009-05-13
公开(公告)号:CN101430342A
专利技术分类:
专利摘要:本发明涉及一种反应室升温方法,包含:加热反应室内的空气;以及充入干空气至反应室内,用以与热空气混合并将含有水分的空气排出。同时亦揭露一种升温装置,可在较短的时间内将反应室内的温度提高且达到等温的环境,进而具有降低成本的优点。
专利权项:1.一种反应室升温方法,其特征在于,包含:加热一反应室内的空气;以及充入一干空气至该反应室内,与该反应室内的空气混合,且将反应室内的空气排出。
百度查询: 力成科技股份有限公司 反应室升温方法及其升温装置
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