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申请/专利权人：株式会社日立制作所
申请日：2010-04-28
公开（公告）日：2010-11-03
公开（公告）号：CN101875797A
专利技术分类：..以人造树脂为主的[2014.01]
专利摘要：本发明提供抗蚀油墨及通过抗蚀油墨的抗蚀图案形成方法。具体是通过具有适于反转印刷法形成细微抗蚀图案性质的抗蚀油墨以及通过该抗蚀油墨的抗蚀图案形成方法。抗蚀油墨，其含有由热熔融型树脂构成的树脂微粒，与不溶解该树脂微粒且能分散该树脂微粒的溶剂。该抗蚀油墨在粘度或表面能等方面具有适于反转印刷法的性质。另外，由于上述树脂微粒包含热熔融型树脂，抗蚀油墨图案在转印至被蚀刻材料上后进行加热，使上述树脂微粒熔融，可以提高形成的抗蚀图案的蚀刻耐性。
专利权项：抗蚀油墨，其含有热熔融型树脂构成的树脂微粒，与不溶解上述树脂微粒且能分散上述树脂微粒的溶剂。
百度查询： 株式会社日立制作所 抗蚀油墨及通过抗蚀油墨的抗蚀图案形成方法
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