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申请/专利权人：天成科威有限公司;伯东株式会社
申请日：2003-12-09
公开（公告）日：2006-02-08
公开（公告）号：CN1732075A
专利技术分类：.用机械方法，如压制[2006.01]
专利摘要：在图案形成装置10中，把用于在基板200上形成图案的模具100加热到基板200的表层部的玻化温度Tg以上的温度T1，在该状态下，把模具100按压到温度在玻化温度Tg以下的基板200上，并转印模具100的图案。然后，切断加热器，利用冷却单元将模具100冷却后，使模具100从基板200分离。并且，优选设置从料箱逐个取出基板200并依次供给该图案形成装置10的供给装置，构成图案形成系统。
专利权项：1.一种图案形成装置，其特征在于，具有：在成为加工对象物的大致平板状的基板上形成规定图案的模具；加热所述模具的加热部；保持所述基板的基板保持部；把所述模具按压在由所述基板保持部保持的所述基板上的加压机构。
百度查询： 天成科威有限公司 伯东株式会社 图案形成装置、图案形成方法、图案形成系统
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