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申请/专利权人：株式会社日立高新技术
申请日：2020-07-09
公开（公告）日：2023-02-03
公开（公告）号：CN115699244A
专利技术分类：..与管子相联的光学或摄影装置[2006.01]
专利摘要：本公开提出一种图案匹配装置，特别是即使在包含重复图案的半导体图案中，也能够实现将具有学习功能作为特征的匹配处理。本公开的图案匹配装置具备学习器，该学习器推定具有表示第一图像与第二图像之间的相关性的数值作为像素值的第一相关图像，所述图案匹配装置计算具有表示从所述第一图像生成的派生图像与所述第一图像之间的相关性的数值作为像素值的第二相关图像，所述学习器以减小所述第一相关图像与所述第二相关图像之间的差分的方式进行学习参照图1。
专利权项：1.一种图案匹配装置，其实施图像间的图案匹配，其特征在于，所述图案匹配装置具备计算机系统，该计算机系统通过在第一图像与第二图像之间实施图案匹配，将所述第一图像与所述第二图像之间的偏移量作为图案匹配结果而输出，所述计算机系统具备学习器，该学习器接收所述第一图像和所述第二图像作为输入，推定并输出第一相关图像，该第一相关图像具有表示所述第一图像与所述第二图像之间的相关性的数值作为像素值，所述计算机系统计算第二相关图像，该第二相关图像具有表示所述第一图像与从所述第一图像生成的派生图像之间的相关性的数值作为像素值，所述学习器构成为能够实施减小所述第一相关图像与所述第二相关图像之间的差分的学习，所述计算机系统基于所述第一相关图像，计算所述第一图像与所述第二图像之间的偏移量。
百度查询： 株式会社日立高新技术 图案匹配装置、图案测定系统、图案匹配程序
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