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申请/专利权人：精工爱普生株式会社
申请日：2013-05-20
公开（公告）日：2018-05-11
公开（公告）号：CN103418541B
专利技术分类：..用压电效应或用电致伸缩工作的（一般的压电器件或电致伸缩器件入H10N30/00）[2006.01]
专利摘要：本发明提供一种超声波换能器、超声波探测器及超声波检查装置。该超声波探测器包括：基板，具有开口；支撑膜，设置在上述基板上、用于封闭上述开口；以及压电元件，设置于开口对应部位，上述开口对应部位是设置于上述支撑膜上、且在从上述基板的厚度方向的俯视观察时与上述开口重叠的区域，其中，上述支撑膜的上述开口对应部位的上述俯视观察时的重心位置的厚度小于上述支撑膜的上述开口对应部位的与上述开口连接的外缘部的厚度。
专利权项：一种超声波换能器，其特征在于，包括：基板，具有开口；支撑膜，设置在所述基板上，用于封闭所述开口；以及压电元件，设置于开口对应部位，所述开口对应部位是设置于所述支撑膜上、且在从所述基板的厚度方向的俯视观察时与所述开口重叠的区域，所述支撑膜的所述开口对应部位具有厚度从所述支撑膜的所述开口对应部位的中心部朝向与所述开口连接的外缘部逐渐增大的部位，在所述俯视观察时，所述中心部位于所述压电元件的宽度的内侧的区域，所述支撑膜的所述开口对应部位的所述开口侧的面具有弯曲的凹面部，设所述支撑膜的所述开口对应部位的与所述开口连接的外缘部的厚度为D1，设所述开口对应部位的所述俯视观察时的重心位置的厚度为D2，此时，D2D1为0.1以上0.9以下。
百度查询： 精工爱普生株式会社 超声波换能器、超声波探测器及超声波检查装置
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