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申请/专利权人：荷兰应用自然科学研究组织TNO
申请日：2013-02-06
公开（公告）日：2014-12-10
公开（公告）号：CN104203433A
专利技术分类：..用于薄膜或薄板的表面[2006.01]
专利摘要：提供生产设备用于在箔FO上生产产品。该生产设备包括有洁净室形成的沉积区10，其中排列至少第一和第二沉积设备21，22用于在箔上沉积一层材料。生产设备还包括至少一个加工设备31用于加工所述沉积的层，所述加工设备排列在所述沉积区以外并且包括具有远离所述沉积区、朝向转向设备41的第一路径31a和从所述转向设备回到所述沉积区的第二路径31b的加工轨迹。
专利权项：一种用于在箔FO上生产产品的生产设备，所述生产设备包括沉积区10，其中排列第一沉积设备21用于在所述箔上沉积材料层，所述生产设备还包括至少一个加工设备31用于加工所述沉积的层，所述加工设备排列在所述沉积区以外并且包括具有远离所述沉积区、朝向转向设备41的第一方向上的第一路径31a和从所述转向设备回到所述沉积区的第二路径31b的加工轨迹，所述生产设备还包括再导向设备51a，51b用于在所述沉积区内对所述箔进行再导向，其中所述沉积区10是具有出口11a和入口11b的洁净室，其中所述第一路径31a导向远离所述出口11a的第一方向并且带回所述入口11b，其特征在于，在所述沉积区至少排列第二沉积设备22，所述箔被引导沿着所述第一和所述至少第二沉积设备通过所述加工设备。
百度查询： 荷兰应用自然科学研究组织TNO 生产设备和生产方法
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