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申请/专利权人：AP系统股份有限公司;三星显示有限公司
申请日：2013-11-13
公开（公告）日：2017-04-12
公开（公告）号：CN103811386B
专利技术分类：..用于传送的，例如在不同的工作站之间[2006.01]
专利摘要：本发明提供一种基底传送设备以及一种基底加工设备，且更确切地说，涉及一种基底加工设备，其中当基底进行加工时，通过传送基底而使薄膜结晶于基底上。基底传送设备包含：通过空气轴承滑动的传送台；以及围绕空气轴承的吸收器，用来吸收从空气轴承喷射出之后折回的空气。
专利权项：一种基底传送设备，其包括：一对导轨，该对导轨设置在第一轴方向上并且彼此间隔开；第一轴传送台，所述第一轴传送台连接该对导轨，且所述第一轴传送台在第二轴方向上具有一长度，通过设置在所述第一轴传送台的底部表面上的空气轴承，所述第一轴传送台在所述第一轴方向上沿着所述导轨前后滑动；第二轴传送台，所述第二轴传送台设置在所述第一轴传送台上方，通过设置在所述第二轴传送台的底部表面上的所述空气轴承，所述第二轴传送台在所述第二轴方向上沿着所述第一轴传送台前后滑动；旋转轴引导件，所述旋转轴引导件插入到所述第二轴传送台的中心；基底支撑件，所述基底支撑件设置在所述旋转轴引导件的上方；以及围绕所述空气轴承的吸收器，用来吸收从所述空气轴承喷射出之后折回的空气；所述吸收器包括：吸盘，所述吸盘围绕所述空气轴承的空气喷射表面；固定啮合棒，所述固定啮合棒将所述吸盘固定到外围结构上；多个吸气孔，所述多个吸气孔界定在所述吸盘的底部表面中；吸气管，其提供于所述吸盘中，所述吸气管与所述多个吸气孔连通；排气端，所述排气端设置在所述吸气管的末端处以排放吸入的空气；以及压力控制阀，安装至所述排气端以提供吸力。
百度查询： AP系统股份有限公司 三星显示有限公司 基底传送设备和基底加工设备
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