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申请/专利权人：ASM IP控股有限公司
申请日：2019-06-24
公开（公告）日：2020-02-14
公开（公告）号：CN110797251A
专利技术分类：.充气放电管（放电加热的入H05B）[2006.01]
专利摘要：基底加工设备的示例包括：台板；用于使所述台板旋转的驱动单元；仅面对所述台板的外边缘的一部分的电极；用于向所述电极供应高频功率的高频功率供应单元；以及用于向所述电极与所述台板之间的间隙供应气体的气体供应装置。
专利权项：1.一种基底加工设备，包括：台板；驱动单元，其用于使所述台板旋转；电极，其仅面对所述台板的外边缘的一部分；高频功率供应单元，其用于向所述电极供应高频功率；以及气体供应装置，其用于向所述电极与所述台板之间的间隙供应气体。
百度查询： ASM IP控股有限公司 基底加工设备和基底加工方法
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