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申请/专利权人：塞姆西斯科有限责任公司
申请日：2023-01-13
公开（公告）日：2024-10-01
公开（公告）号：CN118743011A
专利技术分类：..用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L21/68）[2006.01]
专利摘要：本公开涉及一种用于操作基底1的基底操作装置11、基底操作系统10、基底操作装置11或基底操作系统10的用途以及基底操作方法。基底操作装置11包括伯努利板13、多个伯努利杯13a以及机械定心机构14，机械定心机构14包括边缘夹持器14a和至少一个驱动单元14b。边缘夹持器14a沿伯努利板13的边缘设置，以接触基底1的边缘，以夹持基底1。驱动单元14b设置在伯努利板13的背面，驱动单元14b被配置为相对于伯努利板13驱动边缘夹持器14a，以相对于伯努利板13定位基底1。伯努利杯13a分布在伯努利板13的正面，伯努利杯13a被配置为提供局部负压，以将基底1保持在与伯努利板13平行的平面上。
专利权项：1.一种用于操作基底1的基底操作装置11，包括：-伯努利板13，-多个伯努利杯13a，以及-机械定心机构14，包括边缘夹持器14a和至少一个驱动单元14b，其中，所述边缘夹持器14a沿所述伯努利板13的边缘设置，以接触所述基底1的边缘，以夹持所述基底1，其中，所述驱动单元14b设置在所述伯努利板13的背面，其中，所述驱动单元14b被配置为相对于所述伯努利板13驱动所述边缘夹持器14a，以相对于所述伯努利板13定位所述基底1，以及其中，所述伯努利杯13a分布在所述伯努利板13的正面，以及其中，所述伯努利杯13a被配置为提供局部负压，以将所述基底1保持在与所述伯努利板13平行的平面上。
百度查询： 塞姆西斯科有限责任公司 用于操作基底的基底操作装置
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