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申请/专利权人：VG仪器集团有限公司
申请日：1987-05-19
公开（公告）日：1988-06-01
公开（公告）号：CN87103626A
专利技术分类：..测量光电效应，例如，光电子发射显微镜[2018.01]
专利摘要：本发明提供产生电子发射表面图象的电子能谱仪，包括：a使表面发射电子的装置；b第一静电透镜系统，把电子投射到第一衍射面上，作电子图象的傅里叶变换；c第一个表面图象的环形电容式静电能量分析仪；d能量选择装置，用来发射只在选定范围内的上述能量偏差傅里叶变换电子；e第二静电系统。本发明的能谱仪可检测分析图象平面中空间细节的纯能量谱，并可把能量范围内发射电子形成的表面图象投射到第二个图象平面上。
专利权项：1、一个用于产生电子发射表面图象的电子能谱仪，上述能谱仪包括：a使上述表面发射电子的装置；b第一静电透镜系统，至少把某些所述电子投射到第一衍射面上，作为至少部分上述表面电子图象的傅里叶变换；c具有物平面和与其共轭的第一图象表面的环形电容式静电能量分析仪，上述分析仪的上述物平面与上述第一衍射平面重合并投射上述傅里叶变换电子作为上述第一图象平面内的能量偏差傅里叶变换；d能量选择装置，用本发射只在所选能量范围内的上述能量偏差傅里叶变换电子；e第二静电透镜系统，用来接收上述能量选择装置发出的电子并且随后把部分所述表面电子图象投射到第二图象平面上。
百度查询： VG仪器集团有限公司 电子能谱仪
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