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申请/专利权人：株式会社小金井
申请日：2010-07-13
公开（公告）日：2015-07-29
公开（公告）号：CN102576660B
专利技术分类：..未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜[2006.01]
专利摘要：药液供给装置具有通过自由弹性变形的波纹管14进行膨胀收缩的泵室15被设置的泵12，药液容器10内的药液经由吸入流道21而被导向泵室15。泵室15内的药液经由喷出流道22被喷出至喷出喷嘴11。在泵12环状地连接有将从泵室15提供的药液回流至泵室15并具有膨胀收缩部的循环流道23。在循环流道23设置有将回流至泵室的药液进行过滤的过滤器30。当从喷出喷嘴11喷出药液时，由于没有对泵12附加过滤器的通过阻力，因此能够以高精度将一定量的药液从喷出喷嘴11喷出。
专利权项：一种药液供给装置，其特征在于，包括：吸入流道，所述吸入流道与泵连接，所述泵设置有通过泵部件而膨胀收缩的泵室，所述吸入流道将药液容器内的药液导向所述泵室；喷出流道，所述喷出流道连接在所述泵和喷出喷嘴之间，将所述泵室内的药液喷出至所述喷出喷嘴；以及循环流道，在所述循环流道设置有将从所述泵室提供的药液临时储存的膨胀收缩部，且所述循环流道的流入部和流出部分别连接于所述泵，将从所述泵室提供的药液回流至所述泵室，其中，在所述循环流道的所述膨胀收缩部的上游侧设置有对经由所述循环流道回流至所述泵室的药液进行过滤的过滤器，当使药液通过设置于所述循环流道的所述过滤器并过滤药液时，通过所述泵室对药液进行加压并提供给所述过滤器，通过所述泵进行所述药液容器内的药液在所述循环流道中的循环动作、和所述循环流道内被过滤的药液向所述喷出喷嘴喷出的喷出动作。
百度查询： 株式会社小金井 药液供给装置以及药液供给方法
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