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申请/专利权人：应用材料公司
申请日：2015-04-28
公开（公告）日：2017-02-22
公开（公告）号：CN106463445A
专利技术分类：..用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L21/68）[2006.01]
专利摘要：在一个实施方式中，提供用于热处理的感受器。该感受器包含：外轮缘，该外轮缘环绕且耦合至内盘，该外轮缘具有内边缘及外边缘。该感受器进一步包含一个或更多个结构，该一个或更多个结构用于在基板受该感受器支撑时减低该基板与该感受器之间的接触表面面积。该一个或更多个结构的其中至少一者耦合至该内盘接近该外轮缘的该内边缘。
专利权项：一种用于热处理腔室的感受器，包括：外轮缘，所述外轮缘环绕且耦合至内盘，所述外轮缘具有内边缘及外边缘；及一个或更多个结构，所述一个或更多个结构用于在基板受所述感受器支撑时减低所述基板与所述感受器之间的接触表面面积，其中所述一个或更多个结构的其中至少一者耦合至所述内盘接近所述外轮缘的所述内边缘。
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