龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：精工爱普生株式会社
申请日：2005-12-19
公开（公告）日：2010-07-28
公开（公告）号：CN1794099B
专利技术分类：.感光材料的处理及其设备（G03F7/12至G03F7/24优先）[2006.01]
专利摘要：一种溶剂去除装置，具有：基台23，其对设置含膜材料与溶剂的液状的膜形成用材料的被膜的基板W进行支持；气体导入机构3，其将脱溶剂去除用的气体导入基板W的中央部；和限制机构，其按照气体从基板W的中央部向边缘部流动呈放射状那样，对气体的流动进行限制。通过限制机构，对气体的流动进行限制，同时从被膜中将溶剂去除。由此，本发明能提供使在工件中设置的被膜干燥成为均一的膜厚的溶剂去除装置以及溶剂去除方法。
专利权项：一种溶剂去除装置，具有：工件支持机构，该机构支持工件，在所述工件上设置有包含膜材料和溶剂的液状的膜形成用材料的被膜；气体导入机构，其向所述工件的中央部导入脱溶剂去除用的气体；限制机构，其按照使所述气体从所述工件的中央部向边缘部流动呈放射状那样，对该气体的流动进行限制，检测机构，其位于所述工件的边缘部上方，对所述工件的所述边缘部处的所述气体中的所述溶剂的浓度进行检测；在所述工件上形成所述被膜的被膜形成机构；对所述工件支持机构进行旋转驱动的旋转驱动机构；所述脱溶剂去除用的气体含有所述溶剂和气缸气体，所述气体导入机构具有：基于所述检测机构的检测结果对于向所述工件的中央部导入的所述气体中含有的所述气缸气体的流量进行调整的流量调整机构；基于所述检测机构的检测结果，对于向所述工件的中央部导入的所述气体中含有的所述溶剂的比例进行调整的比例调整机构；对所述溶剂和所述气缸气体进行混合的混合单元，由所述限制机构，对所述气体的流动进行限制，同时将所述溶剂从所述被膜中去除。
百度查询： 精工爱普生株式会社 溶剂去除装置以及溶剂去除方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号