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申请/专利权人：堺显示器制品株式会社
申请日：2016-06-17
公开（公告）日：2019-04-02
公开（公告）号：CN109562417A
专利技术分类：
专利摘要：用于去除基板上附着的异物的异物去除装置具备喷射部、异物抽吸部和罩体。喷射部对着宽度比基板的整个宽度小的部位喷射气体，异物抽吸部将异物与由该喷射部对着基板喷射出的气体一起抽吸，罩体覆盖被喷射部喷射气体的部位。
专利权项：1.一种异物去除装置，用于去除附着在基板上的异物，其特征在于，所述异物去除装置具备：喷射部，对着宽度比所述基板的整个宽度小的部位喷射气体；异物抽吸部，将异物与由所述喷射部对着所述基板喷射出的气体一起抽吸；以及罩体，覆盖被所述喷射部喷射气体的部位。
百度查询： 堺显示器制品株式会社 异物去除装置、异物去除系统和异物去除方法
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