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申请/专利权人：广东阿达智能装备有限公司
申请日：2019-03-22
公开（公告）日：2019-07-09
公开（公告）号：CN109994410A
专利技术分类：..用于传送的，例如在不同的工作站之间[2006.01]
专利摘要：本发明公开了一种拾取结构、拾取机构及拾取模块，将支撑件装入安装孔中，并通过第一限位件与第一安装座限位配合，使得支撑件稳定支撑在安装孔中；接着，在支撑件与第一安装座之间设置弹性件，使得支撑件能够在安装孔中弹性移动。如此，当吸嘴与晶圆抵触时，支撑件则受到挤压力，使得弹性件发生弹性变形，一旦弹性件发生弹性变形时，支撑件则带动吸嘴在安装孔中往回移动，如此，有效避免吸嘴直接与晶圆刚性抵触而导致晶圆发生破碎而损坏。同时，由于支撑件与第一安装座之间设有弹性件，因此，在弹性件的作用下，吸嘴能够与晶圆保持紧密接触状态。当开启吸气设备时，通过吸取通道，使得吸嘴与晶圆之间形成真空，从而使得吸嘴能够安全吸取晶圆。
专利权项：1.一种拾取结构，其特征在于，包括：第一安装座，所述第一安装座上设有安装孔；与吸取组件，所述吸取组件包括支撑件、弹性件及均装设在所述支撑件上的第一限位件与吸嘴，所述支撑件穿入所述安装孔中，所述第一限位件与所述第一安装座限位配合，所述支撑件上设有吸取通道，所述吸嘴通过所述吸取通道用于与吸气设备连通，所述弹性件设置在所述支撑件与所述第一安装座之间。
百度查询： 广东阿达智能装备有限公司 拾取结构、拾取机构及拾取模块
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