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申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日：2018-08-31
公开（公告）日：2019-10-25
公开（公告）号：CN209531189U
专利技术分类：.以供给液体或其他流体的方法为特征的[2006.01]
专利摘要：本实用新型提供一种材料供应装置、材料供应系统，材料供应装置包括：存储装置，其上设置信息存储部件，记录有存储装置中供应材料的追踪信息；相连通的缓冲装置、抽取装置及喷涂装置；信息识别部件，识别信息存储部件内的追踪信息；控制装置，获取信息存储部件的追踪信息并和目标供应材料的目标信息进行比较，判断二者是否匹配。本实用新型通过信息存储部件及信息识别部件的作用，获取存储装置中供应材料的追踪信息，通过控制装置获取上述追踪信息及目标供应材料的目标信息，并进行比较以判断操作人员准备的存储装置是否正确，减少操作人员误判断带来的损害，防止错误的材料应用到制备工艺中，同时防止错误的材料造成供应系统的污染。
专利权项：1.一种材料供应装置，其特征在于，包括：用于存储供应材料的存储装置，所述存储装置与气体输入管路相连通，所述存储装置上设置有信息存储部件，所述信息存储部件内记录有所述存储装置中所述供应材料的追踪信息；用于接收并暂存所述存储装置中存储的所述供应材料的缓冲装置，所述缓冲装置通过第一管路与所述存储装置相连通；用于抽取并输出所述缓冲装置中暂存的所述供应材料的抽取装置，所述抽取装置通过第二管路与所述缓冲装置相连通；用于接收所述抽取装置输出的所述供应材料并喷涂所述供应材料的喷涂装置，所述喷涂装置通过第三管路与所述抽取装置相连通；用于识别所述存储装置上的所述信息存储部件内的所述追踪信息的信息识别部件；及与所述信息识别部件相连接的控制装置，所述控制装置通过所述信息识别部件获取其识别的所述追踪信息，其中，所述控制装置将所述追踪信息与目标供应材料的目标信息进行比较，依据比较结果判断所述存储装置中所存储的所述供应材料是否匹配所述目标供应材料。
百度查询： 长鑫存储技术有限公司 材料供应装置、材料供应系统
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