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申请/专利权人：江苏长电科技股份有限公司
摘要：本发明涉及一种磁控溅射过程中使用的冷却盘，它包括底座，所述底座上设置有中心托盘与多个卡扣，所述中心托盘的形状为中心高四周低，所述中心托盘上设置有导热垫，所述多个卡扣均匀设置于中心托盘四周，所述底座上设置有多个定位孔和多个螺孔。本发明通过使用冷却盘吸热和罩子隔热来降低腔体内产品的温度，从而解决残胶、撕膜困难、产品表面变色等问题。
主权项：1.一种磁控溅射过程中使用的冷却盘，其特征在于：包括底座1，所述底座1上设置有中心托盘2与多个卡扣4，所述中心托盘2的形状为中心高四周低，所述中心托盘2上设置有导热垫3，所述多个卡扣4均匀设置于中心托盘2四周，所述底座1上设置有多个定位孔5和多个螺孔9。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏长电科技股份有限公司 一种磁控溅射过程中使用的冷却盘及降温方法
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