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申请/专利权人：中国科学院微电子研究所
摘要：一种极紫外光学元件性能参数测试系统，该系统包括极紫外光源腔室、光收集纯化腔室和测量腔室，其中：极紫外光源腔室，用于发出辐照光；光收集纯化腔室，用于对极紫外光源腔室发出的辐照光进行光谱纯化及聚焦，得到中心波长为13.5nm的极紫外光，并将极紫外光反射传输到测量腔室中；测量腔室，用于装载待测光学元件，使极紫外光照射到所述待测光学元件的表面，实现对待测光学元件特性参数的测试。本发明提供的极紫外光学元件性能参数测试系统，结构简单，操作方便，可以在不破坏真空环境条件下，实现极紫外探测器光谱响应率、反射镜反射率、滤光片透过率等光学元件的不同性能的测试。
主权项：1.一种极紫外光学元件性能参数测试系统，其特征在于，该系统包括极紫外光源腔室1、光收集纯化腔室3和测量腔室9，其中：极紫外光源腔室1，用于发出辐照光；光收集纯化腔室3，用于对极紫外光源腔室1发出的辐照光进行光谱纯化及聚焦，得到中心波长为13.5nm的极紫外光，并将极紫外光反射到测量腔室9中；测量腔室9，用于装载待测光学元件，使极紫外光照射到所述待测光学元件的表面，实现对待测光学元件特性参数的测试。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院微电子研究所 一种极紫外光学元件性能参数测试系统
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