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申请/专利权人：江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司
摘要：本发明公开了一种具备双机械手的扫描电子显微镜样品台，包括样品杯，在所述样品杯中对称设置有两个纳米操作机械手，两个纳米操作机械手可协同配合实现多种操作。本发明适用于Phenom桌上型电镜，可以实现电镜下的多触点的电学测量、材料表征检测、纳米级多点位同时精确定位等多种复杂动作与功能。其结构紧凑，设计巧妙，在功能多样化、微小空间样品台设计、机械手稳定性以及定位精度等方面均有突破。
主权项：1.一种具备双机械手的扫描电子显微镜样品台，其适用于Phenom桌上型电镜，其特征在于，包括样品杯，所述样品杯中对称设置有两个纳米操作机械手。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 具备双机械手的扫描电子显微镜样品台
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