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申请/专利权人:合肥彩虹蓝光科技有限公司
摘要:本发明提供一种发光二极管外延结构生长方法,所述方法包括步骤:在衬底上,生长第一半导体层;在所述第一半导体层上生长N型半导体层;在所述N型半导体层上生长第一多量子阱结构;在所述第一多量子阱结构生长第二多量子阱结构,其中,所述第二多量子阱结构至少包括:至少两个多量子阱和多量子势垒,其中,所述多量子势垒包含:含铝和镓的第一氮化物,以及含铝的第二氮化物,且所述第一氮化物和所述第二氮化物交替生长;在所述第二多量子阱结构上生长第二P型半导体层;在所述第二P型半导体层上生长所述电子阻挡层;在所述电子阻挡层上生长第三P型半导体层。
主权项:1.一种发光二极管外延结构生长方法,其特征在于,所述方法包括步骤:在衬底上,生长第一半导体层;在所述第一半导体层上生长N型半导体层;在所述N型半导体层上生长第一多量子阱结构;在所述第一多量子阱结构生长第二多量子阱结构,其中,所述第二多量子阱结构至少包括:至少两个多量子阱和多量子势垒,其中,所述多量子势垒包含:含铝和镓的第一氮化物,以及含铝的第二氮化物,且所述第一氮化物和所述第二氮化物交替生长;在所述第二多量子阱结构上生长第二P型半导体层;在所述第二P型半导体层上生长所述电子阻挡层;在所述电子阻挡层上生长第三P型半导体层。
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