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申请/专利权人：倍科有限公司
申请日：2019-10-11
公开（公告）日：2020-11-24
公开（公告）号：CN111987032A
专利技术分类：..用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L21/68）[2006.01]
专利摘要：本发明提供一种粘接装置，其具有粘接工序所需的时间短且生产效率高的特点。本发明的粘接装置包括：基板保持台11，用于支撑基板Wb；传送装置20，被配置在基板保持台11的上侧，用于将在透明膜200的下端面上临时粘接有粘接构件Ws的临时粘接膜Wf传送至规定位置；摄像装置30，被配置在临时粘接膜Wf的上侧，用于对基板Wb上的粘接构件Ws的预定粘接位置以及粘接构件Ws进行拍摄；补正装置70，根据通过摄像装置30所拍摄的信息，对基板Wb或粘接构件Ws的位置以及姿态进行补正；以及压接装置，用于使临时粘接膜Wf或基板Wb朝上下方向移动从而将粘接构件Ws压接在基板Wb上。
专利权项：1.一种粘接装置，用于将粘接构件粘接在基板的规定位置上，其特征在于，包括：基板保持台，用于支撑被预定粘接所述粘接构件的所述基板；传送装置，被配置在所述基板保持台的上侧，用于将在透明膜的下端面上临时粘接有所述粘接构件的临时粘接膜传送至规定位置；摄像装置，被配置在所述临时粘接膜的上侧，用于对所述基板上的所述粘接构件的预定粘接位置以及所述粘接构件进行拍摄；补正装置，根据通过所述摄像装置所拍摄的所述预定粘接位置与所述粘接构件的位置之间的位置偏移信息，对所述基板或所述粘接构件的位置进行补正，并且根据通过所述摄像装置所拍摄的相对于所述预定粘接位置的所述粘接构件的姿态信息，对所述基板或所述粘接构件的姿态进行补正；以及压接装置，用于使所述临时粘接膜或所述基板朝上下方向移动从而将所述粘接构件压接在所述基板上。
百度查询： 倍科有限公司 粘接装置以及粘接方法
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