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摘要：本实用新型公开了一种用于离线校准尼康i8光刻机激光器光轴的装置，它涉及激光器校准技术领域。前定位块作为激光器的前端定位挡板，放置在装置整体的前侧，后定位块作为激光器的后端定位挡板，放置在装置整体的后侧，前定位块、后定位块的侧边分别放置有一个侧边定位块，作为激光器的侧边位置定位挡板，前定位块、侧边定位块、后定位块的表面均设置有放置激光器的承载平面台，前定位块、侧边定位块、后定位块的底部均设置有连接面，前定位块与侧边定位块的中部前方靠近光源的一端设置有近点小孔标记、远离光源的一端设置有远点小孔标记。本实用新型校准操作简便且耗时短，可直观地观察光线的变化，且不占用生产设备的时间，应用前景广阔。
主权项：1.一种用于离线校准尼康i8光刻机激光器光轴的装置，其特征在于，包括前定位块1、侧边定位块2、后定位块3、承载平面台4、连接面5、近点小孔标记6、远点小孔标记7，前定位块1作为激光器的前端定位挡板，放置在装置整体的前侧，后定位块3作为激光器的后端定位挡板，放置在装置整体的后侧，前定位块1、后定位块3的侧边分别放置有一个侧边定位块2，作为激光器的侧边位置定位挡板，前定位块1、侧边定位块2、后定位块3的表面均设置有放置激光器的承载平面台4，前定位块1、侧边定位块2、后定位块3的底部均设置有连接面5，前定位块1与侧边定位块2的中部前方靠近光源的一端设置有近点小孔标记6、远离光源的一端设置有远点小孔标记7；所述的前定位块1与对应侧的侧边定位块2之间的距离a为90mm，前定位块1与后定位块3之间的距离b为416mm，两个侧边定位块2之间的距离c为416mm，后定位块3与对应侧的侧边定位块2之间的距离d为66mm，前定位块1与近点小孔标记6之间的距离e为300mm。
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百度查询： 上海矽锐电子科技有限公司 一种用于离线校准尼康i8光刻机激光器光轴的装置
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